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关于车规级IGBT模块键合及芯片缺陷AOI检测,有你想知道的......

发布时间:2024-08-08    浏览人数:1人查看

缺陷检测是半导体制造过程中不可或缺的环节,对于提高生产效率及质量、降低成本和保障产品安全性都具有重要意义。


近年来,随着新能源汽车的爆发式增长,车规级IGBT模块的热度持续攀升。由于特殊的使用环境,相比工业级IGBT模块,车规级IGBT模块对稳定性、可靠性和安全性的要求更为严苛,而缺陷的存在会严重影响车规级IGBT模块的性能和可靠性,因此,有效检测和控制这些缺陷是保证车规级IGBT模块质量的关键。


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基于当前车规级IGBT模块对于视觉检测保证产品质量的刚性需求,在多年深耕功率半导体行业的基础上,轩田科技打造了IGBT模块键合及芯片缺陷检测AOI设备,为提高车规级IGBT模块质量保驾护航。


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设备特点


轩田科技IGBT模块键合及芯片缺陷检测AOI设备,作为一种先进的自动化检测技术,在硬件配置方面,采用高精度2D+3D相结合的光学算法检测模式,可对一次键合、二次键合后陶瓷基板、芯片和键合线进行缺陷检测;搭载多投影和硬件计算成像技术,可消除单一投影方向造成的图像阴影和盲区,同时解决了高反物体表面容易出现的单边飞点、孔洞等3D重构失真问题。


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在软件方面,轩田科技拥有自主可控的算法能力,可通过AI算法一键检出焊点,人工辅助复查,快速创建配方;可实现快速切换配方,更换批号,实时统计良品次品数量。


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AI算法一键检出焊点



可多窗口实时显示多图层图片,检出异常明细列表;可实时展示报表,提高生产管理决策效率。


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报表统计


检测范围


可对一次键合、二次键合后陶瓷基板、芯片和键合线进行缺陷检测。

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检测范围


检测能力


基板缺陷检测



表面氧化/脏污

陶瓷板裸露部分损伤

表面划伤/崩边


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芯片缺陷检测



器件高度

芯片碎裂/割伤/划痕

芯片氧化/脏污

多芯片/少芯片

胶水/焊料的面积

芯片位置偏移

芯片角度旋转


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键合缺陷检测



焊点缺失/偏移

焊点球径偏大/偏小

焊点高度

线弧塌陷

并线/断线/多线/少线/线残留


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